Em campos avançados de fabricação, como circuitos integrados, MEMS e optoeletrônica, a tecnologia de gravação ICP é amplamente utilizada em processos-chave, como gravura profunda de silício, usinagem de estrutura de alta relação de profundidade e transferência de padrão de precisão. A estabilidade e uniformidade do efeito de gravura não dependem apenas da densidade e do controle de energia do plasma, mas também de um conjunto de sistemas de fornecimento de gás altamente limpos, selados e confiáveis. Na estrutura central deste sistema, conjuntos de tubos de aço inoxidável de altíssima pureza e juntas de ponteira dupla desempenham um papel insubstituível como a "linha de vida do gás".
1. Gravação ICP: apresentar os requisitos finais para o sistema de gás
A máquina de gravação ICP excita plasma de alta densidade através da bobina de indução superior, e o baixo viés de eletrodo é usado para alcançar alta gravura anisotrópica. A fim de controlar com precisão a profundidade da gravação e o ângulo do flanco à escala micronanométrica, o tipo, a relação, o caudal e a pureza do gás de reação devem ser estáveis e controláveis.
No processo de gravura propriamente dito, os gases comuns incluem:
• Gases halogéneos como Cl₂, SF₆, BCl₃: utilizados para a gravação de silício, óxidos e outros materiais;
• O₂: agente oxidante ou incinerante;
• Ar, He: estabilizador de plasma ou gás diluído;
• Subprodutos corrosivos: precisam ser extraídos pelo sistema de vácuo a tempo.
Qualquer pequena contaminação por gás, vazamento ou flutuações de fluxo pode levar a falhas no processo, como gravura irregular, colapso do flanco e contaminação por partículas. Portanto, o sistema de passagem de gás não deve apenas ser preciso, mas também extremamente limpo, sem vazamentos, resistente à corrosão, estável e confiável, que é o valor central do conjunto de tubos de aço de altíssima pureza.
2. Composição do conjunto do tubo de aço de altíssima pureza e destaques técnicos
✅ Composição estrutural:
• Tubo de aço inoxidável sem costura 316L (grau EP): Tratamento eletropolido da parede interna, rugosidade superficial Ra<0,2μm para evitar a adesão e precipitação de partículas;
• Junta de aço inoxidável de ponteira dupla: estrutura de vedação metálica, resistente a alta temperatura, alta pressão, alta corrosão, para evitar poluição orgânica;
• Teste de estanquidade ao ar de hélio: todo o conjunto foi detetado por espectrometria de massa de hélio para vazamento, e a taxa de vazamento é inferior a 1×10⁻⁹ Pa·m³/s;
• Porta padrão CGA/SEMI: perfeitamente compatível com as principais interfaces de equipamentos semicondutores do mundo.
✅ Vantagens técnicas:
Descrição das Características
Processo de tratamento ultralimpo, isento de óleo e de impurezas que atende aos requisitos do fornecimento de gás 6N (99,9999%)
Alta estanquidade Design de vedação rígida de metal, operação sem vazamento, adequado para sistemas de alto vácuo
Alta confiabilidade Pré-fabricados de fábrica, instalação rápida no local, desmontagem repetida confiável
Super resistência à corrosão Adequado para todos os gases de decapagem convencionais para um funcionamento estável a longo prazo
Suporte personalizado Formas estruturais personalizadas, como tubos de curvatura, interfaces roscadas e conexões soldadas com flange podem ser personalizadas
3. Principais aplicações em sistemas de gravação ICP
Em equipamentos ICP, conjuntos de tubos de aço de altíssima pureza são usados principalmente nos seguintes nós do sistema:
1. Gravação do canal principal do gás de reação
Conectar o cilindro de gás e a câmara de reação de gravação para garantir que o gás de alta pureza seja transmitido para a área de reação de plasma sem perda e poluição é a principal garantia da estabilidade de qualidade da gravura.
2. Antes e depois do controlo do caudal mássico MFC
Combinado com ponteiras duplas para obter um fluxo de gás preciso e controlável, auxilia no controle consistente dos parâmetros do processo.
3. Caminho de escape a vácuo
O conjunto de tubos de aço resistente à corrosão é equipado com válvulas de vácuo e armadilhas frias para obter a extração livre de resíduos de subprodutos de gravura, reduzindo efetivamente a taxa de poluição da câmara de vácuo e a frequência de limpeza do equipamento.
4. Por que você não pode substituí-lo por uma mangueira?
As mangueiras industriais podem ser usadas em alguns sistemas de baixa demanda (por exemplo, purga, água de resfriamento), mas em sistemas de ar principais ICP, as mangueiras têm sérias limitações:
• A limpeza da parede interna é difícil de cumprir o padrão, e há um risco de precipitação.
• Propenso ao envelhecimento, infiltração de ar e deformação de pressão após uso prolongado;
• A forma de ligação tem pouca estanquidade ao ar, dificultando a resistência a gases corrosivos;
• Suscetível a flutuações de temperatura, causando perturbações de fluxo. 、
Como resultado, qualquer substituição de mangueira representa uma ameaça potencial à estabilidade da gravação, e os conjuntos de tubos de aço são a única solução de nível industrial que pode transportar gases de gravação de alta pureza.
5. Conclusão: Do "transporte de gás" ao "rendimento de guarda"
No atual gerenciamento de rendimento de fabricação de wafers, todo processo não tem espaço para defeitos. Uma pequena fonte de vazamento de gás ou contaminação pode significar que dezenas de wafers são descartados ou até mesmo o equipamento está inativo. O conjunto de tubos de aço de altíssima pureza é a "tábua de salvação" que protege silenciosamente a pureza do gás, a estabilidade do equipamento e a consistência dos produtos em um lugar invisível.
Escolher um sistema de circuito de gás de gravação ICP de alta qualidade não é apenas sobre a escolha de um conjunto de acessórios, mas também sobre a estabilidade do processo, segurança da produção e reprodutibilidade futura.
